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2025-07
星期 六
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光学镀膜机在发展过程中面临着一些技术难点和研发挑战。首先，对于超薄膜层的精确控制是一大挑战，在制备厚度在纳米甚至亚纳米级的超薄膜层时，现有的膜厚监控技术和镀膜工艺难以保证膜层厚度的均匀性和一致性，容易出现厚度偏差和界面缺陷。其次，
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2025-07
星期 六
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光学镀膜机通常由真空系统、蒸发或溅射系统、加热与冷却系统、膜厚监控系统、控制系统等部分构成。真空系统是其基础，包括机械真空泵、扩散真空泵等，用于抽除镀膜室内的空气及杂质，营造高真空环境，一般可达到10⁻³至10⁻⁸帕斯卡的真空度，
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光学镀膜机通常由真空系统、蒸发或溅射系统、加热与冷却系统、膜厚监控系统、控制系统等部分构成。真空系统是其基础，包括机械真空泵、扩散真空泵等，用于抽除镀膜室内的空气及杂质，营造高真空环境，一般可达到10⁻³至10⁻⁸帕斯卡的真空度，
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膜厚控制是光学镀膜机的关键环节之一，其原理基于多种物理和化学方法。其中，石英晶体振荡法是常用的一种膜厚监控技术。在镀膜过程中，将一片石英晶体置于与基底相近的位置，当镀膜材料沉积在石英晶体表面时，会导致石英晶体的振荡频率发生变化。由
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2025-07
星期 六
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化学气相沉积（CVD）原理在光学镀膜机中也有应用。CVD是基于化学反应在基底表面生成薄膜的技术。首先，将含有构成薄膜元素的气态前驱体通入高温或等离子体环境的镀膜室中。在高温或等离子体的作用下，气态前驱体发生化学反应，分解、化合形成
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